Nikon показала литографическую систему DSP-100 для создания пластин 600×600 мм

Производство современных ускорителей, ориентированных на высокопроизводительные вычисления и искусственный интеллект, постоянно совершенствуется, предлагая более привлекательные характеристики и производительность, но прогресс не обходится без минуса, и на данный момент ключевым является размер конечных изделий.

Так как кристалл графического процессора необходимо упаковать на одну подложку со стеками HBM и другими компонентами, они занимают очень много места, в связи с чем с каждой полупроводниковой пластины можно получить всё меньше и меньше продукции, что крайне негативно сказывается на стоимости и объёме производства. В общем и целом, пластины размером 300 мм становятся ограничивающим фактором.

Для решения проблемы производители переходят на более крупные пластины размером 600×600 мм квадратной формы, а также внедряют технологию упаковки на уровне панелей (PLP). Это поможет повысить количество продукции с каждой пластины, однако для создания и обработки таких пластин требуется специальное оборудование — и вот тут в игру вступает Nikon.

Компания показала свою первую литографическую систему DSP-100, базовая настройка которой позволяет ей создавать квадратные пластины размером 510×515 мм (с увеличением до 600×600 мм) с упаковкой PLP. Более того, для работы системы не требуются фотошаблоны — используется так называемый «эквивалентный i-line источник света с помощью пространственного модулятора света, устраняя оптические искажения и снижая затраты на наборы масок».

По словам Nikon, с каждой новой пластины можно получить в девять раз больше готовой продукции по сравнению с традиционной пластиной диаметром 300 мм, что значительно снижает производственные затраты. Также положительно на себестоимость сказывается архитектура без масок, сокращающая циклы итераций проектирования. Массовое производство Nikon DSP-100 начнётся в следующем году.