ASML изучает возможности сканеров Hyper-NA для дальнейшего уменьшения транзисторов

Сейчас ASML занимается производством, поставками и сборкой сканера последнего поколения High-NA Twinscan EXE, способного создавать полупроводники с технологическими нормами вплоть до 1-нм. Для дальнейшего уменьшения транзисторов потребуется использовать новые сканеры, над которыми нидерландская компания уже работает.

Мартин ван ден Бринк (Martin van den Brink), технический директор ASML, подтвердил в публикации годового отчета об изучении работягами компании возможности создания сканеров Hyper-NA, ориентированных на “гипервысокую” числовую апертуру более 0.7, которая может стать основой для транзисторов менее 1-нм.

«Hyper-NA с числовой апертурой выше 0.7 – это возможность, которая станет более реальной примерно к 2030 году. Вероятно, она будет наиболее актуальной для логики процессоров и должна стать более доступной, чем двойной шаблон на основе экстремальной литографии High-NA, позволяя сократить как стоимость, так и время выполнения заказов».

Если ASML все же возьмет на вооружение Hyper-NA с числовой апертурой более 0.7, то сканеры нового поколения будут еще больше и значительно дороже текущих сканеров High-NA с числовой апертурой 0.55.