Huawei запатентовала EUV-сканеры для создания продукции по 7-нм техпроцессу и тоньше

Китайская полупроводниковая промышленность сильно страдает из-за американских санкций. Для решения этой проблемы Huawei, по всей видимости, собирается разработать собственные сканеры, чтобы помочь родной стране и китайским партнерам обойти ограничения.

Дело в том, что в середине прошлого месяца на просторах Государственного ведомства интеллектуальной собственности Китая была подана заявка с номером 202110524685X с целью получения патента на сканер, способный работать с экстремальным ультрафиолетом (EUV). Это указывает на то, что такое оборудование будет способно создавать микросхемы по 7-нм техпроцессу и тоньше.

Судя по патенту, он распространяется на все важнейшие элементы сканера, включая генератор света с длиной волны 13.5 нм, набор отражающих зеркал и систему литографии. Проблема лишь в том, что патент может не стать реальностью, поэтому понадобится некоторое время, прежде чем мы сможем убедиться в том, что Huawei действительно будет производить современные сканеры для создания полупроводников.