SK hynix тестирует инструменты для производства NAND, работающие при температуре -70°C

Современные микросхемы памяти NAND производятся за счет инструментов, способных работать при температуре от 0°C до 30°C, но в будущем это может измениться, ведь компания сотрудничает с японским производителем Tokyo Electron Labs, разрабатывающим новые инструменты, рассчитанные на создание микросхем при более низких температурах.

Источник в лице The Elec утверждает о работе Tokyo Electron Labs над инструментами, создающими память NAND при температуре -70°C, что необходимо для новой системы травления, позволяющей выполнять травление глубиной 10 мкм и высоким соотношением сторон всего за 33 минуты, хотя современные методы делают это в три раза дольше.

Помимо существенного ускорения производства, новые инструменты способны создавать микросхемы памяти NAND с более чем 400 слоями, причем для этого требуется наложение одного или двух стеков друг на друга, а с текущим оборудованием требуется два или три стека. Другим приятным бонусом является использование фтористого водорода с потенциалом потепления менее 1, что значительно меньше тетрафторида углерода и октафторпропана с показателями 6030 и 9540 соответственно.